氦質譜檢漏儀概述

氦質譜檢漏儀為氣體工業(yè)領域名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

真空壓力法氦質譜檢漏的優(yōu)缺點

真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點是檢漏系統(tǒng)復雜，需要根據(jù)被檢產品的容積和形狀設計真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏，或者采取特殊的結構設計將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測標準有GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。

氦質譜檢漏儀應用行業(yè)

單晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空爐 ，鍍膜機，互感器，避雷器，C-GIS組合電器，電力開關，真空滅弧室，高真空閥門 ，LED外延片，出口滅火器，X射線管，石化換熱器，磁流體，密封繼電器，氣體流量計 ，隔膜壓力變送器 ，氣體發(fā)生器  ，ITO鍍膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，壓力容器  ，化工容器，低溫儲罐  ，LNG 低溫氣瓶 ，玻璃燒結件，陶瓷密封連接器 ，陶瓷燒結件 ，TO封裝 ，高真空排氣臺，真空凍干機 ，光器件，石英晶體諧振器，高壓開關，換熱器，電真空器件，SF6管路，波紋管，ITO設備，半導體，輻照電線電纜 交聯(lián)電線電纜，真空釬焊，真空熱處理等。