淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉速度高達90000RPM（1500轉／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設計緊湊，體積小，重量輕。服務更換為了實現(xiàn)您的制程正常運行時間目標，在計劃內(nèi)或計劃外停機情況下，您需要快速響應。主要有兩個系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉軸承是用磁性材料制成的。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計

愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設先進的微處理器控制；

概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

訂購信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。含氧成分高的工況，旭選用特殊的真空泵油，如合成油等當沒有合適的專用油，可選擇漢族要質量指標（黏度）相近的真空泵油替代，當規(guī)定的規(guī)定的真空泵油到貨后，應馬上更換替代油品。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。Drystar系統(tǒng)的非接觸式裝置減少了磨損和維護，開機時間更長，抽空時間更短。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

愛德華70#真空泵油應用：

   真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學等領域的真空泵使用。

供應英國愛德華19號真空泵油，質量保證規(guī)格4L /208L現(xiàn)貨，愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號選用油號對用，因為真空泵油粘度不一樣。