烘箱介紹及其注意事項

儀表控溫的熱敏元件探頭應(yīng)從左側(cè)線路的測溫孔中插入工作室內(nèi)，不得從箱頂氣閥中心孔插入，橡膠手套干燥箱供應(yīng)，以免影響使用。

本干燥箱初次使用時，應(yīng)請勤加以觀察，避免過熱烘壞工件，造成損失。

使用如感到熱慣稍大時，可關(guān)閉一組加熱器以降低發(fā)熱功率，防止慣性過大造成超溫。

取入烘烤物件：請勿撞擊伸入工作室的控溫器部份，防止損壞控溫器導(dǎo)致失靈。

本箱在沒有說明“防爆烘箱”的情況下切忌烘烤易曝，容易橪燒及揮發(fā)性的物品，以防曝炸。

如遇故障，請電工檢修。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱工作原理

箱體的溫度控制采用了GCD一23 A型智能電腦溫控和PLC自控系統(tǒng)，溫度信號的采集用鉑電阻，經(jīng)溫度控制器的放大與設(shè)定值進行比較得到PID控制信號，同時PLC程控器輸出控制信號控制固態(tài)繼電器SSR導(dǎo)通，固態(tài)繼電器再控制加熱器加熱，使箱體處于升溫除濕階段。當(dāng)溫度達到設(shè)定值時，溫控儀輸出PID控制信號PLC，PLC輸出控制信號給時間繼電器KT，使其開始保溫計時，同時，關(guān)閉進風(fēng)機和排風(fēng)碟閥。通過PID控制電加熱不斷啟閉，箱體處于熱風(fēng)循環(huán)保溫滅菌階段。

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