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發(fā)布時(shí)間:2024-01-02 03:34  
曝光顯影工藝
一種曝光及顯影設(shè)備,鋁材6061曝光顯影加工訂做,包括: 邊緣曝光裝置,鋁材6061曝光顯影加工設(shè)計(jì),用于對(duì)基板的邊緣進(jìn)行曝光; 顯影裝置,用于對(duì)曝光后的基板進(jìn)行顯影,該邊緣曝光裝置位于該顯影裝置的入口處; 其中,鋁材6061曝光顯影加工定做,該基板在被輸送至該顯影裝置的過(guò)程中,被該邊緣曝光裝置進(jìn)行邊緣曝光。該邊緣曝光裝置包括: 邊緣曝光機(jī),其邊緣與該基板的邊緣對(duì)齊設(shè)置; 影像處理器,與該邊緣曝光機(jī)連接,用于擷取該基板和邊緣曝光機(jī)邊緣的影像,并通過(guò)該影像測(cè)定該基板的偏移量;及 驅(qū)動(dòng)裝置,與該邊緣曝光機(jī)和CCD影像處理器連接,該驅(qū)動(dòng)裝置根據(jù)該基板的偏移量驅(qū)動(dòng)邊緣曝光機(jī)移動(dòng),以補(bǔ)償該偏移量。


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