Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國(guó)外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí)，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對(duì)工件能進(jìn)行表面加固，但不會(huì)引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

Parylene涂層防護(hù)

自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器，用很薄的Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性。使用環(huán)境包括淡水、海水、煉油廠、化工廠、血液和體液以及輻射環(huán)境等。由于很薄的Parylene薄膜涂層就能對(duì)器件提供有效防護(hù)，對(duì)傳感器的靈敏度影響很小。國(guó)外已有四千萬種以上各種傳感器用Parylene防護(hù)，可用于微波、射頻、聲學(xué)、壓電、輻射、化學(xué)、溫度等各種傳感器。其中有汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)用傳感器等。經(jīng)Parylene封裝的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用Parylene封裝防護(hù)甚至還可以開發(fā)能夠在液氮中使用的微電子器件。

Parylene涂層和熱膨脹系數(shù)有什么區(qū)別?

Parylene的用量非常小，這樣涂層和基材之間的熱膨脹系數(shù)就不會(huì)有很大差別,幾乎不存在任何膨脹/收縮及變形等. 傳統(tǒng)的噴涂、浸漬或刷涂的液體涂層可能會(huì)適用于某些線圈繞組，但是這些材料有許多隱患。例如，固化液體涂層的厚度取決于它們?nèi)軇┑臐舛?，彎月面和表面張力也?huì)將涂層從尖銳的棱角邊緣劃落下來，在未完全固化前就聚集在角落里。液體涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之間。在平整表面，涂層厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有這樣外部角落里、尖銳棱角和邊緣處的液體涂層的厚度才能達(dá)到0.001尺寸。有些時(shí)候，基材與涂層的熱膨脹系數(shù)會(huì)有所不同，導(dǎo)致在溫度變化周期內(nèi)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。涂層越厚或溫度越高，這樣情況就會(huì)越嚴(yán)重。

        Parylene涂層具有介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度，同時(shí)具有良好的機(jī)械性能和耐輻射性能。Parylene的介電強(qiáng)度主要是因?yàn)镻arylene能形成無缺陷和無其它填充物的薄膜。Parylene具有尺寸穩(wěn)定性和低溫性能，在不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 或者較高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微電子，微馬達(dá)的表面處理和絕緣體。使用較純度的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

       微電子、半導(dǎo)體：使用較純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

       傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。