真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:

①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;

②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;

③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;

真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無油真空系統(tǒng)的配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

現(xiàn)在，產(chǎn)品的可靠性，性能的穩(wěn)定性和對(duì)環(huán)境的污染逐漸成為用戶購(gòu)買產(chǎn)品的參考因素。旋片泵，旋轉(zhuǎn)活塞泵，羅茨泵等有關(guān)將成熟可靠的設(shè)計(jì)理念應(yīng)用到真空泵的設(shè)計(jì)，可靠性設(shè)計(jì)，可靠性試驗(yàn)，大大改善層面的自由時(shí)間，真空泵的可靠性，穩(wěn)定性和壽命，保證真空泵各種工況下長(zhǎng)期可靠運(yùn)行。采用新技術(shù)，新材料，減少振動(dòng)和噪聲的新結(jié)構(gòu)，解決了泵噴油，漏油問題，還用戶友一個(gè)干凈良好的工作環(huán)境。

渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。

水環(huán)式真空泵是一種粗真空泵，因其具有構(gòu)造緊湊、任務(wù)均衡牢靠和流量平均，用來保送的氣體等特性，現(xiàn)已普遍地運(yùn)用于人們的消費(fèi)生活中。水環(huán)式真空泵因而也備受用戶的喜歡和推崇。

在泵的抽氣流道中，無須使用任何油類和密封液體作為介質(zhì)，愛發(fā)科VDN902油旋片真空泵維修，依靠動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過程。因此，如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側(cè)密封。

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