石英撓性加速度傳感的工作原理其是由軛鐵由溫度系數(shù)低導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導(dǎo)磁性能比較良好的永磁材料，用磨床加工。撓的材料為溫度性能的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個撓，但造價很高。加速度引起的差動電容變化量由伺服電路中差動電容檢測器檢測，為其輸出為電流，經(jīng)電流積分器變成輸出電壓，然后跨導(dǎo)補償放大器把電壓變成輸出電流，此輸出電流的大小與輸入加速度成正比。英撓性加速度傳感器為單軸力矩反饋式加速度計，通過檢測質(zhì)量來檢測外界的加速度信號，再經(jīng)伺服電路解調(diào)、放大，輸出電流信號正比于加速度信號。產(chǎn)品廣泛用于航空航天高精度導(dǎo)航系統(tǒng)、慣性導(dǎo)航、航海定位、飛行姿態(tài)控制或地質(zhì)勘探捷聯(lián)系統(tǒng)。石英撓性伺服加速度計是具有先進水平的新型傳感器。它精度高、長期穩(wěn)定性好、體積小巧。是對加速度、速度、距離、搖擺、振動、傾斜等物理量敏感、測量、控制方面的換代產(chǎn)品。

石英撓性加速度計的高精度信號處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號、極易受寄生電容影響,實用性較低。石英撓性加速度計主要有4個分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導(dǎo)等行業(yè)。

單軸石英撓性加速度計對航空器交會對接過程中所產(chǎn)生的加速度信息進行高精度測量，從而為飛船精準(zhǔn)掌握自身姿態(tài)變化提供了重要的參考。航天器之間能實現(xiàn)這樣的對接，離不開石英撓性加速度計的優(yōu)異表現(xiàn)。單軸石英撓性加速度計不僅要對航空器交會對接中穩(wěn)住速度、引好方位，還在空間科學(xué)實驗平臺——微重力主動隔振平臺關(guān)鍵技術(shù)的驗證中擔(dān)任要職，要對載荷六自由度的空間運動作準(zhǔn)確測量。為保證交會對接的高精度測量要求，必須給石英撓性加速度計防止內(nèi)部氣體在真空環(huán)境下泄漏。為充分保證密封的可靠性，又模擬太空環(huán)境，對其進行振動、沖擊、熱循環(huán)、熱真空等嚴(yán)酷試驗的考核，單軸石英撓性加速度計解決了長期穩(wěn)定性等一系列的難題。