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發(fā)布時(shí)間:2020-12-25 07:53  
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硬涂層膜厚度的測(cè)量[FE-0004]
近年來(lái),使用具有各種功能的高i性能薄膜的產(chǎn)品被廣泛使用,并且根據(jù)應(yīng)用不同,還需要提供具有諸如摩擦阻力,抗沖擊性,耐熱性,薄膜表面的耐化學(xué)性等性能的保護(hù)薄膜。通常保護(hù)膜層是使用形成的硬涂層(HC)膜,但是根據(jù)HC膜的厚度不同,可能出現(xiàn)不起保護(hù)膜的作用,膜中發(fā)生翹曲,或者外觀不均勻和變形等不良。 因此,管理HC層的膜厚值很有必要。
膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長(zhǎng)相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長(zhǎng)度)的膜層為薄膜,其厚度遠(yuǎn)大于入射光波波長(zhǎng)的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。
如果膜厚測(cè)試儀已經(jīng)進(jìn)行了適當(dāng)?shù)男?zhǔn),所有的測(cè)量值將保持在一定的誤差范圍內(nèi);根據(jù)統(tǒng)計(jì)學(xué)的觀點(diǎn),一次讀數(shù)是不可靠的。因此任何由膜厚測(cè)試儀顯示的測(cè)量值都是五次“看不見”的測(cè)量的平均值。這五次測(cè)量是在幾分之一秒的時(shí)間內(nèi)由探頭和儀器完成的。