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黃山氣動直線導(dǎo)軌-光波超精密產(chǎn)品齊全-氣動直線導(dǎo)軌平臺

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發(fā)布時間:2020-12-01 10:06  

光波超精密——氣動直線導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性,將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中,形成具有超高剛度的氣膜間隙,從而支撐負(fù)載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

應(yīng)用行業(yè):電子制造裝備行業(yè)中,黃山氣動直線導(dǎo)軌,如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零,永不i磨損,精度延續(xù)性精度持久性高,出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損,氣動直線導(dǎo)軌平臺,因此不存在售后問題,使用成本不用返廠維修,更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失,導(dǎo)軌不用人為修正,補償,高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大,運動平穩(wěn),振幅小,且振動頻率接近,因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響,

光波超精密技術(shù)研究院——氣動直線導(dǎo)軌


氣浮導(dǎo)軌,簡單易行,即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮,實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動,并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點有:1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小,且均勻度好,精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系,即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行,運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。



光波超精密技術(shù)研究院——氣動直線導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成,每個承導(dǎo)面至少有兩個氣浮塊,氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過這個實驗臺的實驗測量得到:供氣量一定時,氣浮塊所受負(fù)荷增大,氣浮厚度減??;當(dāng)負(fù)荷減少時,氣浮厚度增大。

高精度工作臺常用導(dǎo)軌有滾動導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等,滾動導(dǎo)軌的使用已有多年歷史,滾動導(dǎo)軌的運動精度可達微米級,摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動式導(dǎo)軌具有滾動摩擦阻力小,不存在爬行漂浮現(xiàn)象,但其摩擦系數(shù)大,抗沖擊性能差,運動不平穩(wěn),使用壽命低等優(yōu)點,在實際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——氣動直線導(dǎo)軌


機導(dǎo)是傳動系統(tǒng)運動的基礎(chǔ),也是傳動系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低,不易爬行、振動小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點,因此本試驗裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計.空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙,通過靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來,在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜,氣膜厚度基本保持恒定。




光波超精密——氣動直線導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌其優(yōu)點是消音能力好,荷載高,能滿足這兩點要求的直直線導(dǎo)軌產(chǎn)品才算及格產(chǎn)品,單軸氣動直線導(dǎo)軌,否則,即使再貴也是名不副實的產(chǎn)品。也可通過檢測導(dǎo)軌的精度,從而判斷導(dǎo)軌的質(zhì)里是否合格,方式多種多樣,但只要是正規(guī)廠家產(chǎn)品,質(zhì)里都有保證。

直線導(dǎo)軌滑塊的端部和側(cè)面均有塑膠件,在安裝時不能用硬錘工具擊打,在安裝后試車時,花崗巖氣動直線導(dǎo)軌,不允許任何物體撞擊它。如果塑料制品破i裂了,球就會滾出來,滑塊就會掉下來。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——氣動直線導(dǎo)軌

直直線導(dǎo)軌各部件不得隨意拆卸,影響精度和靈活性,不得隨意為直直線導(dǎo)軌加裝不符合要求的滾珠。

不需要時,不可從直直線導(dǎo)軌上卸下滑塊,如必須卸下時,應(yīng)先將輔助直直線導(dǎo)軌對準(zhǔn),再卸下滑塊。

清洗時一定要將潤滑油干燥后再加潤滑油,不能在沒有潤滑油的情況下工作。

據(jù)悉,每年到了濕潤多雨的季節(jié),鐵軌銹蝕的頻率尤其高,尤其是沿海地區(qū)。由于導(dǎo)軌油中的硫、磷等抗磨劑在切削液中主要成分為水的作用下被水解,硫、磷等成分嚴(yán)重腐蝕鋼鐵零件。



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