真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/p>

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，真空箱式氦測漏設(shè)備，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

氫冷汽輪發(fā)電機(jī)

氫氣中含氧量很少，低于2％，不助燃，即使發(fā)電機(jī)內(nèi)部發(fā)生短路故障，也不會有著火的危險，從而可使故障損壞程度大為減輕。

在氫氣中，噪音較小，而且絕緣材料不易受氧化和電暈的損害。

缺點是一旦于空氣混合后在一定比例內(nèi)(4％～74．2％)具有強烈的特性，所以發(fā)電機(jī)外殼都設(shè)計成防爆型，氣體置換采用C02作為中間介質(zhì)。

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