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發(fā)布時間:2020-11-26 16:05  






磁控濺射鍍膜機的注意事項
1、保持機器內艙各部位的清潔;
2、關注真空度指標;
3、檢查并記錄抽真空的時間,如有延長,立刻檢查造成的原因;
4、記錄濺射功率和時間(一般濺射機的銀靶設定功率為0.6千瓦,金靶的設定功率為0.75千瓦,鉻的行走速率為9000pps),如有異常,立刻檢查造成的原因;
5、根據鍍出石英振子的散差,調整遮擋板的各部尺寸;
6、濺鍍后的石英振子要用3M膠帶檢查其牢固度;
7、測試并記錄鍍好的石英振子主要指標,如:頻率、電阻、DLD等;
8、將不良品挑出:電極錯位、劃傷、臟污、掉銀等(工位上要有不良品示意圖)。
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我國真空鍍膜機行業(yè)發(fā)展現狀和前景分析
當前我國真空鍍膜設備行業(yè)等傳統(tǒng)制造業(yè)產能過剩已經顯現,倒逼效應顯著,國家大力發(fā)展環(huán)保產業(yè),對傳統(tǒng)電鍍行業(yè)予以取締或轉型或限產,這正是離子鍍膜行業(yè)發(fā)展的大好時機。真空鍍膜的高性價比以及傳統(tǒng)電鍍對環(huán)境的污染迫使真空鍍膜成為了主流,各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設備不斷增加。
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磁控濺射原理
濺射過程即為入射離子通過--系列碰撞進行能量和動量交換的過程。
電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與Ar原子發(fā)生碰撞,電離出大量的Ar離子和電子,電子飛向基片,磁控濺射儀,在此過程中不斷和Ar原子碰撞,產生更多的Ar離子和電子。Ar離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。
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