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發(fā)布時(shí)間:2022-08-11 03:14  


刻蝕相對(duì)光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒(méi)有圖案)的部分,留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。

“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。

擴(kuò)展資料:

光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種,手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)

1.手動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過(guò)手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來(lái)完成對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)精度可想而知不高了;

2.半自動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)電動(dòng)軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;

3.自動(dòng): 指的是 從基板的上載,佛山標(biāo)牌刻鍍機(jī)機(jī)械設(shè)備,曝光時(shí)長(zhǎng)和循環(huán)都是通過(guò)程序控制,自動(dòng)光刻機(jī)主要是滿足工廠對(duì)于處理量的需要。











激光因其環(huán)保、制造工藝簡(jiǎn)單、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn),電力牌標(biāo)牌刻鍍機(jī)機(jī)械設(shè)備,已成為大多數(shù)TP廠家的。激光蝕刻機(jī)用于高精度光學(xué)設(shè)備的日常維護(hù),不僅能有效降低設(shè)備故障率,提高設(shè)備加工效率,降低生產(chǎn)成本的消耗。    日常維護(hù)和保養(yǎng)中首先務(wù)必要保證設(shè)備的清潔,并保證使其工作環(huán)境清潔無(wú)塵。ITO/Ag激光蝕刻設(shè)備的光學(xué)器件主要由晶體和鏡片組成,且其表面均鍍有精密膜,灰塵對(duì)所鍍的膜層影響很大,不僅會(huì)減弱激光的輸出功率,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)損壞光學(xué)器件表面的膜層,以至光學(xué)器件損壞或報(bào)廢,造成設(shè)備無(wú)法正常工作。    在平常的保養(yǎng)中,如發(fā)現(xiàn)光學(xué)器件表面有灰塵,可以用吹氣球?qū)χ骷砻孑p輕的吹去灰塵,大功率標(biāo)牌刻鍍機(jī)機(jī)械設(shè)備,嚴(yán)禁用嘴直接對(duì)著器件表面吹氣。如果用吹氣球無(wú)法除去器件表面的污垢,可以用鏡頭紙對(duì)器件表面輕輕的擦拭,還可以用脫脂棉醮酒精(純度95%以上,是分析純)對(duì)器件表面輕輕的擦拭。







蝕刻機(jī)生產(chǎn)過(guò)程中危害的要素主要是酸、堿和三氯化鐵,對(duì)其廢涂務(wù)必妥善處置,不能隨意排出。那麼除開(kāi)對(duì)環(huán)境要素要留意以外,也或是有其他一些要素必須留意的,下邊我來(lái)為您詳細(xì)說(shuō)明。

不銹鋼板蝕刻生產(chǎn)過(guò)程中除開(kāi)必須 留意環(huán)境污染問(wèn)題,還必須 注意什么?

降低側(cè)蝕和突沿,提升 蝕刻指數(shù)

側(cè)蝕造成突沿。一般印制電路板在蝕刻液中的時(shí)間越長(zhǎng),(或是應(yīng)用舊式的搖擺不定蝕刻機(jī))側(cè)蝕越比較嚴(yán)重。側(cè)蝕比較嚴(yán)重危害印刷導(dǎo)線的精密度,比較嚴(yán)重側(cè)蝕將使制做細(xì)致導(dǎo)線變成不太可能。當(dāng)側(cè)蝕和突沿減少時(shí),蝕刻指數(shù)就上升,小型標(biāo)牌刻鍍機(jī)機(jī)械設(shè)備,高的蝕刻指數(shù)表明有維持細(xì)導(dǎo)線的工作能力,使蝕刻后的導(dǎo)線貼近原照規(guī)格。電鍍工藝蝕刻抗蝕劑不論是錫-鋁合金,錫,錫-鎳基合金或鎳,突沿過(guò)多都是會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)線短路故障。由于突沿非常容易出來(lái),在導(dǎo)線的兩點(diǎn)之間產(chǎn)生電的中繼。

提升 板子與板子中間蝕刻速率的一致性

在持續(xù)的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能得到勻稱蝕刻的板子。要做到這一規(guī)定,務(wù)必確保蝕刻液在蝕刻的整個(gè)過(guò)程持續(xù)保持在的蝕刻情況。這就規(guī)定挑選非常容易再造和賠償,蝕刻速率非常容易操縱的蝕刻液。采用能給予穩(wěn)定的實(shí)際操作標(biāo)準(zhǔn)和對(duì)各種各樣水溶液主要參數(shù)能自動(dòng)控制系統(tǒng)的加工工藝和機(jī)器設(shè)備。根據(jù)操縱溶銅量,PH值,溶液的濃度,溫度,水溶液總流量的勻稱性(自動(dòng)噴淋系統(tǒng)或噴頭及其噴頭的晃動(dòng))等來(lái)完成。





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