碳素電極是由元素碳組成的電極。碳電極是由瀝青焦、石油焦與膠粘劑混合成型經(jīng)碳化制得，石墨化程度不高，導電性不如人造石墨，可用于鋁及鎂等電解用電極、于電池電極等。

特種碳素電極是指由特種碳素材料制成的電極，主要有以碳纖維為基體的多孔碳電極，可用于燃料電池等；由熱固性樹脂經(jīng)碳化制得的玻璃碳電極，具有很高的純度和耐化學腐蝕性，用于分析。

石墨電極的電流越大，電蝕的凹坑就越大，因而隨著峰值電流的增加，它的表面就會越來越粗糙。薄片電極剛開始幾乎是點接觸工件放電，細小電極承受不了過強的電流，容易受到損壞，因此剛開始時應把電流調(diào)低，然后再慢慢調(diào)大峰值電流直到放電穩(wěn)定，加工速度較快。為改善加工環(huán)境，加工石墨電極的四周用水幕包圍，防止石墨粉塵四處分散。

石墨微粒的大小決定了它的損耗程度，微粒越大損耗程度就越大，微粒小的損耗程度就越小，同時石墨微粒還決定了其表面的粗糙程度，所以在選擇石墨電極材料的時候，一定要謹慎注意。

石墨電極較容易加工，且加工速度明顯快于銅電極。比如采用銑削工藝加工石墨，其加工速度較其他金屬加工快2～3倍且不需要額外的人工處理，而銅電極則需要人手挫磨。

同樣，如果采用高速石墨加工中心制造電極，速度會更快，效率也更高，還不會產(chǎn)生粉塵問題。在這些加工過程中，選擇硬度合適的工具和石墨可減少刀具的磨損耗和銅電極的破損。

石墨電極是采用石油焦為骨料，煤瀝青為粘結劑，經(jīng)過破碎、配料、混捏、成型、焙燒、浸漬、石墨化、機械加工等一系列工藝生產(chǎn)的一種耐高溫防止氧化的導電材料。

石墨電極的優(yōu)點是加工較容易，放電加工去除率高，石墨損耗小，因此，部分群基火花機客戶放棄了銅電極而改用石墨電極。另外，有些特殊形狀的電極無法用銅制造，但石墨則較容易成型，而且銅電極較重，不適合加工大電極，這些因素都造成部分群基火花機客戶應用石墨電極。還有由熱固性樹脂經(jīng)碳化制得的玻璃碳電極（玻碳電極），它具有很高的純度和耐化學腐蝕性，用于分析。