影響膜厚測(cè)量?jī)x的因素

基體金屬電性質(zhì)

基體金屬的導(dǎo)電性對(duì)測(cè)量有影響，而基體金屬的導(dǎo)電性與材料成分和熱處理方法有關(guān)。使用與樣品金屬具有相同性質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)膜校準(zhǔn)儀器。

基體金屬厚度

每個(gè)儀器具有賤金屬的臨界厚度。大于此厚度，測(cè)量不受基體金屬厚度的影響。

曲率

試樣的曲率對(duì)測(cè)量有影響。這種效應(yīng)總是隨著曲率半徑的減小而增加。因此，測(cè)量彎曲試樣的表面是不可靠的。