1981年美國(guó)IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個(gè)原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動(dòng)了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。與此同時(shí)，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來(lái)探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來(lái)性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來(lái)獲取通過(guò)STM無(wú)法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來(lái)分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。