輔助抽氣系統(tǒng)：

排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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真空泵維修的保養(yǎng)小竅門

真空鍍膜產(chǎn)品長期暴露在空氣中，面對酸堿等強腐蝕性物質(zhì)的接觸，還是難以抵擋。因此，平時保養(yǎng)維護時，盡量不選用含強酸強堿或去污能力強的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業(yè)酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來處理。

此外，如果長時間暴露在惡劣環(huán)境中，或與腐蝕性液體長時間接觸，PVD膜層也容易出現(xiàn)脫落等問題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環(huán)境中。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機復(fù)合信息存儲薄膜研究取得的成果說明真空技術(shù)在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來信息社會的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來的21世紀，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進入信息社會的各個領(lǐng)域，發(fā)揮越來越大的作用。

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