真空泵維修方法制備有機(jī)功能薄膜的技術(shù)

莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規(guī)模集成電路進(jìn)行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發(fā)表的特殊報(bào)告講到的關(guān)于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存儲密度106bit／cm2，可存下一篇30頁;108bit／cm2,能存300頁的書10本;1010bit／cm2,存1000本書;1012bit／cm2,存10萬本書,對于一塊3.5＂磁盤可存入500萬本書是可能的。這幾乎是我國目前省級圖書館的全部藏書。由這個(gè)估算可見存儲密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應(yīng)該考慮到量變到質(zhì)變產(chǎn)生的功能飛躍。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機(jī)復(fù)合信息存儲薄膜研究取得的成果說明真空技術(shù)在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來信息社會的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來的21世紀(jì)，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進(jìn)入信息社會的各個(gè)領(lǐng)域，發(fā)揮越來越大的作用。

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真空泵維修原理和機(jī)械泵的參數(shù)

機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計(jì)算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候，吸氣結(jié)束，此時(shí)空腔內(nèi)的體積，轉(zhuǎn)速為n。

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