相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

凈化工程中無塵車間對潔凈度的要求,空氣處理系統(tǒng)潔凈室的通風(fēng)一般是為了消除室內(nèi)的各種污染物。這樣做不僅是為了形成對產(chǎn)品和工藝安全的環(huán)境，也是為了形成使工作人員滿意的工作環(huán)境。無塵車間的通風(fēng)可用兩種不同的方法：傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)與單向氣流系統(tǒng)。在一般所使用的傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)中，送風(fēng)是由室內(nèi)不同位置的一個(gè)或多個(gè)過濾器(或其他種類的過濾器)完成的。單向流系統(tǒng)(也稱為層流系統(tǒng)LAF或UDF)中，是通過布滿整個(gè)吊頂(垂直流潔凈室)或整面墻(水平流潔凈室)的過濾器(或其他類型的過濾器)送風(fēng)。

在凈化工程中過濾器一直起著很大的作用，凈化級別和過濾器的過濾效率直接相連，對于只有普通凈化級別要求的一般配置亞過濾器。而對特殊凈化室相應(yīng)的在末端配置過濾器。為了提高末端過濾器的使用壽命凈化空調(diào)循環(huán)機(jī)組應(yīng)采用三級過濾的形式。節(jié)能措施 為了提高能源利用率，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)中注意節(jié)能技術(shù)的應(yīng)用，排風(fēng)機(jī)也相應(yīng)地開啟，這樣就可根據(jù)風(fēng)量的不同而采用不同轉(zhuǎn)速，從而達(dá)到節(jié)電的目的。采用顯熱回收的方法回收排風(fēng)系統(tǒng)中的廢能量，用以預(yù)冷預(yù)熱新風(fēng)，從而減小新風(fēng)機(jī)的能量消耗，達(dá)到節(jié)能的目的。也有采用卡薩巴全熱回收裝置對新排風(fēng)進(jìn)行處理的，該裝置集能量回收和殺菌消毒于一體，通過化學(xué)溶液噴淋來實(shí)現(xiàn)能量的轉(zhuǎn)換和消毒的作用。從而實(shí)現(xiàn)預(yù)冷和預(yù)熱新風(fēng)的目的。調(diào)節(jié)新排風(fēng)比率，保持室內(nèi)正壓，達(dá)到正壓要求；設(shè)置故障報(bào)警信號對過濾器堵塞進(jìn)行報(bào)警。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。