無塵室送風量計算主要是指在已知潔凈級別或允許菌濃等條件下計算風量，其步驟是：

正壓無塵室送風量QⅠ計算：

亂流無塵室送風量計算Q1-1亂流無塵室——1000級、10000級、100000級、300000級的無塵室，送風量是以換氣次數(shù)為準來計算的：QⅠ-1=KV式中：K——換氣次數(shù)；V——無塵室凈體積；N——非單向流無塵室穩(wěn)定含塵濃度；G——無塵室內(nèi)單位體積發(fā)塵量；M——室外空氣含塵濃度；S——回風量與送風量之比；所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導致工廠性能降低和能源消耗增加。ηH——回風通路上過濾器的總效率；ηX——新風通路上過濾器的總效率。實際工程計算中換氣次數(shù)K很難用以上公式計算，一般均采用經(jīng)驗換氣次數(shù)。在各國的無塵室標準中，相同級別的非單向流無塵室的經(jīng)驗換氣次數(shù)并不相同。我國《潔凈廠房設計規(guī)范》

如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個晶圓制造設施的一半。大量浪費的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設備的設計和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運營成本。的設計和的設備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導致工廠性能降低和能源消耗增加。并應與精密設備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

工藝布置應符合下列要求：

　　　　一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

　　　　二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

　　　　三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應布置在上風側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。

　　　　四、應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。

　　　　五、應設置單獨的物料人口，物料傳遞路線應為短的，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行清潔處理。