（四）體系測驗(yàn)1、體系檢測是高純氣體施工的一環(huán)，它是在管道壓力實(shí)驗(yàn)、吹掃結(jié)束后進(jìn)行。2、體系測驗(yàn)運(yùn)用的氣體先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、漏點(diǎn)及碳?xì)浠衔飸?yīng)符合要求。3、目標(biāo)的檢測是經(jīng)過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，闡明這條管路目標(biāo)合格了。材料高純氣體管道按其流轉(zhuǎn)介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在上升了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性，構(gòu)成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則上升了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的構(gòu)成元素，它們的存在既上升了鋼的耐腐蝕性，又上升了鋼的工藝性能。高純氦氣在使用時(shí)運(yùn)用YQY-12或152IN-125等減壓器減壓后運(yùn)用，運(yùn)用前運(yùn)用肥皂水檢漏氣體管道，確保氣體管道不漏氣。

隨著我國半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展，高純氣體管道的應(yīng)用也越來越廣，像半導(dǎo)體、電子、醫(yī)院、食品等職業(yè)都是不同程度的運(yùn)用了，因而它的施工對于我們來說也越來越重要。適用范圍本工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠房的氣體管道裝置、測驗(yàn)，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時(shí)也適用于醫(yī)院、食品等廠房的潔凈管道施工。主要施工要點(diǎn)（一）施工前的預(yù)備1、組織勞動(dòng)力，預(yù)備施工中運(yùn)用的機(jī)具、設(shè)備。

高純氮?dú)庵品ǘ荷罾淇辗种频獨(dú)飧呒冄鯕馍罾淇辗种频且环N傳統(tǒng)的制氮（氮?dú)猓┓椒?，已有近九十年的歷史。它是以空氣為原料，經(jīng)過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點(diǎn)不同(在1大氣壓下，前者的沸點(diǎn)為-183℃，后者的為-196℃)，通過液空的精餾，使它們分離來獲得氮?dú)?。深冷空分制氮設(shè)備復(fù)雜、占地面積大，基建費(fèi)用較高，設(shè)備一次性投資較多，運(yùn)行成本較高，產(chǎn)氣慢(12～24h），安裝要求高、周期較長。綜合設(shè)備、安裝及基建諸因素，3500Nm3／h以下的設(shè)備，相同規(guī)格的PSA裝置的投資規(guī)模要比深冷空分裝置低20％～50％。深冷空分制氮裝置宜于大規(guī)模工業(yè)制氮?dú)?，而中、小?guī)模制氮?dú)饩惋@得不經(jīng)濟(jì)。

高純氧氣瓶裝氦氣在運(yùn)輸儲(chǔ)存、使用時(shí)都應(yīng)分類堆放，高純氦氣不準(zhǔn)靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴(yán)禁在氣瓶身上進(jìn)行引弧或電弧，嚴(yán)禁野蠻裝卸，短距離移動(dòng)氦氣鋼瓶應(yīng)使用鋼瓶手推車，高純氦氣長距離移動(dòng)鋼瓶應(yīng)用危險(xiǎn)品運(yùn)輸車輛運(yùn)輸。液氦的溫度為－268.9℃，與皮膚接觸能引起嚴(yán)重胨傷。