真空法氦質(zhì)譜檢漏原理

真空法氦質(zhì)譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法檢漏有何優(yōu)點(diǎn)：真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以定位漏孔，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法檢漏缺點(diǎn)：真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能真實(shí)反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

用途：真空法的檢測(cè)主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。

幾種檢漏方法和檢漏儀的比較發(fā)布

1.水檢法  

這是zui簡(jiǎn)單的、原始的檢漏方法，自行車(chē)胎就是采用此種方法。它是將被檢工作充上大于大氣壓的空氣。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有氣泡從工件中冒出來(lái)，冒泡的位置就是泄露的位置，而根據(jù)冒泡的速率，泡的速率，泡的大小，檢漏設(shè)備報(bào)價(jià)，大約可估漏率。

2.鹵素法

先前一般的制冷器都采用鹵化物為冷媒，當(dāng)灌注冷媒封口以后，用鹵素檢漏儀的探頭在司疑之外尋找漏點(diǎn)，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)就會(huì)聲光報(bào)警，漏點(diǎn)和漏率也就相對(duì)確定了。

檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，檢漏設(shè)備，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，檢漏設(shè)備多少錢(qián)，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），檢漏設(shè)備生產(chǎn)廠家，儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

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