真空設(shè)備氦檢漏

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真空檢漏儀真空檢漏儀

氦分子在質(zhì)譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無du、無危險，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質(zhì)譜檢漏儀（調(diào)整到僅對氦起反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質(zhì)譜檢漏儀立即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在位置及檢測漏氣量大小。

泄漏和密封是相對而言的，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來表示，其計算方法原理如下：

漏率的定義：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp為壓強的變化量；V為容器的體積；Δt為時間的變化量。

因此漏率可簡單理解為：單位時間內(nèi)，單位體積容器，壓強的變化。

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真空設(shè)備檢漏

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氦氣質(zhì)譜分析儀：該方法就是在負(fù)壓法的基礎(chǔ)上，采用質(zhì)譜儀來進(jìn)行檢漏，其連接方式有多種，根據(jù)實際的使用，對為通用和檢漏本Di的方式進(jìn)行說明，該方法可以對漏點進(jìn)行位置的確定和泄漏量的判斷。

其工作原理為:開始主要由真空系統(tǒng)對腔體進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到檢漏儀起測點后，開啟檢漏儀，檢漏儀本身也是一組由小型分子泵和機械泵組成的真空系統(tǒng)，其開啟后也參與腔體的抽氣工作，此時，檢測人員，就可以采用氦氣對腔體中所有接口及焊縫進(jìn)行吹氣，如果有漏點存在，當(dāng)氦氣經(jīng)過此位置時，就會有少量的氦氣隨同空氣進(jìn)入腔體，再由真空管路抽走，此時，會有少量的氦氣進(jìn)入檢漏儀中，檢漏儀內(nèi)部的氦氣質(zhì)譜儀，就會檢測到氦氣的存在，通過報警器發(fā)出報警，提示檢測人員在此位置附近存在泄漏點。由于，氦氣的密度小，在大氣中其會向上飄散，故此，在吹氣檢測時，應(yīng)從設(shè)備上部開始吹氣，以便漏點的位置確定。在進(jìn)行雙層夾套的檢漏時，可以將夾套作為獨立的腔體進(jìn)行單獨抽真空檢漏，實現(xiàn)對內(nèi)外壁的一次性檢測。由于目前檢漏儀技術(shù)足以做到使真空系統(tǒng)的漏氣量遠(yuǎn)小于系統(tǒng)的放氣量，因此真空系統(tǒng)所需要的真空泵的大小主要取決于真空系統(tǒng)所使用的材料放氣率的大小。所以，針對不同類型的內(nèi)膽材料需要真空泵的抽速也會不盡相同。

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旋片真空泵

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使用方法1、使用前，應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書，開箱后應(yīng)檢查裝運質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。

2、為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。

3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。

4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應(yīng)橫裝，并與泵同時動作。

5、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。

6、按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴(yán)格清洗后才能換入酯類真空泵油。

7、檢查泵的極限壓力以壓縮式水yin真空計為準(zhǔn)。全壓力計應(yīng)注意做好計與規(guī)管的配對校準(zhǔn)和備用比對規(guī)管。建議在規(guī)管與被測泵之間裝一球閥。不測時關(guān)閥，可延長規(guī)管使用時間。

8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進(jìn)入拼接轉(zhuǎn)子內(nèi)部，不易排出。

9、拆裝。要按照使用說明書推薦和規(guī)定有序進(jìn)行，記好位置，合理擺放，以免錯裝。

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