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發(fā)布時(shí)間:2021-09-04 19:48  
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長方形一體成型腔室
超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù),各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實(shí)驗(yàn)皆可根據(jù)需求整合在一個(gè)或多個(gè)的超高真空(UHV)腔體(箱體),或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接,Htc日揚(yáng)真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗(yàn)及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計(jì),能滿足配合客戶實(shí)驗(yàn)上的各種質(zhì)量及性能要求。
1. 腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體;
2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進(jìn)樣門,鉸鏈機(jī)構(gòu),移動(dòng)靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;
3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;
4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進(jìn)入10-6Pa;
7. 供貨周期:確認(rèn)方案后5到6周;
以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)長方形一體成型腔室產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
真空腔體焊接制造工藝中需要掌握的技術(shù)要求
焊縫是真空制造工藝中容易產(chǎn)生漏孔的區(qū)域之一,常見的焊縫外觀缺陷及其它缺陷,如未熔合、未焊透、夾渣、氣孔、裂紋及內(nèi)應(yīng)力都是超高真空系統(tǒng)中的漏孔或者虛漏源的隱患。為了大程度地減少焊縫缺陷,便于檢測,超高真空要求焊接的零部件使焊縫盡量處在真空側(cè),大氣側(cè)焊縫僅作為間斷加強(qiáng)焊縫,同時(shí)使大數(shù)量的焊縫能在制造階段分別測試,在終裝配前給予矯正。由于一些零部件的截面尺寸小,內(nèi)壁施焊受到限制,某些部位只能采用大氣側(cè)焊縫,焊縫應(yīng)一次焊好,以避免兩次焊接時(shí)造成有害空間,那么真空腔體必須保證單面焊雙面成型的效果優(yōu)良。
另外還應(yīng)該指出,由于壓差、振動(dòng)和熱循環(huán)等原因在接頭內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力和應(yīng)變,可能會(huì)使含有缺陷的焊縫產(chǎn)生裂紋從而使焊縫受損,或者在使用過程中焊縫受腐蝕,這樣就可能形成漏點(diǎn)。
因而所采用的焊接方法必須在這些條件下能使焊縫的漏率滿足技術(shù)要求。
真空腔體的焊接原則
超高真空腔體的弧焊接,原則上必須采用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),以免存在死角而發(fā)生虛漏。
真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)超高真空,要對腔體進(jìn)行150——250℃的高溫烘烤,以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡單的烘烤方法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
真空腔體中抽氣管道的設(shè)計(jì)原則
為一個(gè)工藝選擇真空泵時(shí),工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實(shí)際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體
在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知?dú)怏w摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質(zhì)量流量計(jì)算如下:
質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數(shù)
對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會(huì)顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動(dòng)的推動(dòng)力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。