光波超精密技術(shù)研究院——空氣靜壓導(dǎo)軌

安置設(shè)備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長(zhǎng)度實(shí)際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設(shè)備安置房間應(yīng)遠(yuǎn)離跑道，周圍無震源，墻體不為外墻，周圍建立防帶。具體要求請(qǐng)建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)長(zhǎng)距離精密計(jì)量及校準(zhǔn)防震的通用要求設(shè)計(jì)。若該校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能建于地下是較為理想的（1、能實(shí)現(xiàn)大尺寸校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實(shí)現(xiàn)大尺寸精密校準(zhǔn)所需要的每小時(shí)溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——空氣靜壓導(dǎo)軌

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機(jī) 冷凍干燥機(jī) 二級(jí)過濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗(yàn)應(yīng)滿足 20℃±1℃)

溫度時(shí)間梯度：≤0.8℃/小時(shí)&≤1℃/24 小時(shí)  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應(yīng)受到太陽照射，不應(yīng)靠近暖氣，不應(yīng)靠近進(jìn)出通道。溫度將會(huì)直接影響測(cè)量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對(duì)濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場(chǎng)請(qǐng)至少配備一個(gè)高靈敏度干濕溫度計(jì)。

注意：過高濕度會(huì)導(dǎo)致機(jī)器表面、電機(jī)凝結(jié)水份，增大測(cè)量設(shè)備故障概率降低使用壽命?？照{(diào)的進(jìn)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)繞開精密導(dǎo)軌的主校準(zhǔn)測(cè)量區(qū)域。

光波超精密——空氣靜壓導(dǎo)軌

開式靜壓導(dǎo)軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，銅陵空氣靜壓導(dǎo)軌，承受偏載和顛覆力的能力較差，滾動(dòng)空氣靜壓導(dǎo)軌，無法承受反向載荷；(2)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低。

總之，空氣靜壓導(dǎo)軌平臺(tái)，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，超精密機(jī)床空氣靜壓導(dǎo)軌，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——空氣靜壓導(dǎo)軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導(dǎo)軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導(dǎo)向器工作時(shí)，氣源氣流通過進(jìn)氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進(jìn)氣孔流出后壓力下降，然后進(jìn)入承載氣膜，并向四周擴(kuò)散流動(dòng)，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺(tái)面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場(chǎng)，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠(yuǎn)，可獲得導(dǎo)軌的承載力。當(dāng)負(fù)荷一定時(shí)，氣動(dòng)靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動(dòng)保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)導(dǎo)軌的重量平衡。

光波超精密技術(shù)研究院——空氣靜壓導(dǎo)軌

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對(duì)導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

同時(shí)氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——空氣靜壓導(dǎo)軌

實(shí)踐中，氣浮墊的性能比較復(fù)雜，受多種因素的影響。對(duì)于要求較高精度的氣浮導(dǎo)軌，應(yīng)考慮以下實(shí)際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節(jié)流孔數(shù)量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進(jìn)氣浮軸承的特性，可適當(dāng)調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡(jiǎn)單又有效。

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