光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類(lèi)型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過(guò)節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節(jié)流孔的作用是在間隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力，因此導(dǎo)軌有剛度?？諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉(zhuǎn)折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無(wú)法承受反向載荷；

(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低

總之，開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

鑲鋼導(dǎo)軌是機(jī)床上zui常用的導(dǎo)軌形式，其使用已有很長(zhǎng)的歷史。鋼質(zhì)鑲嵌式導(dǎo)軌截面為矩形，是導(dǎo)軌系統(tǒng)的固定部件?？梢运窖b裝于床上，也可以與床身鑄成一體，分別稱(chēng)為鑲鋼式和整體式。鑲鋼導(dǎo)軌是用鋼制成，淬硬并研磨而成。剛度在洛氏硬度60度以上，超精密三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，用螺釘或粘合劑(環(huán)氧樹(shù)脂)將鑲鋼導(dǎo)軌固定在機(jī)床床身或經(jīng)刮研的柱面上，確保導(dǎo)軌達(dá)到zui佳的平面度。該型式，維修更換方便，簡(jiǎn)單，深受維修人員的歡迎。

常規(guī)導(dǎo)軌的發(fā)展，首先表現(xiàn)在滑動(dòng)部件和導(dǎo)軌形式上，滑動(dòng)導(dǎo)軌的特點(diǎn)是導(dǎo)軌與滑動(dòng)件之間采用介質(zhì)，而不同的形式就在于選用的介質(zhì)不同。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

在運(yùn)動(dòng)部件和導(dǎo)軌之間也可采用氣體介質(zhì)，超精密機(jī)床三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，氣體介質(zhì)的靜壓力導(dǎo)軌和靜壓力導(dǎo)軌是兩種形式，工作原理與液壓導(dǎo)軌相同。

直線式導(dǎo)向系統(tǒng)使機(jī)床能夠獲得快速進(jìn)給速度，在相同主軸轉(zhuǎn)速下，直線式導(dǎo)向具有同樣的特點(diǎn)。和平面導(dǎo)軌一樣，直線導(dǎo)軌也有兩個(gè)基本部件：一個(gè)是作為導(dǎo)向的固定部件，另一個(gè)是移動(dòng)部件。因?yàn)橹本€導(dǎo)軌是標(biāo)準(zhǔn)零件，對(duì)于機(jī)床制造廠.所做的只是加工一條安裝導(dǎo)軌的平面和校正導(dǎo)軌的平行度。要保證機(jī)床精度，床身或少量的刮研是必要的，而且在大多數(shù)情況下，安裝也比較簡(jiǎn)單。

光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

大理石氣浮導(dǎo)軌對(duì)材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù)，因此它具有軸/徑向跳動(dòng)小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動(dòng)力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能，在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好，隨時(shí)間及空間改變，珠海三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌，溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度，引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小，避免在溫度-變化下產(chǎn)生過(guò)大的伸長(zhǎng)縮短;

3.要具有比較大的彈性，避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

光波超精密技術(shù)研究院——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

4.要有著較高的硬度及耐研磨性，保證在加工及使用中都不會(huì)輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強(qiáng)度，在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對(duì)于運(yùn)動(dòng)部分的材料，在密度上要小，保證由于測(cè)量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的測(cè)量機(jī)慣性力不會(huì)造成損傷;

7.考慮材料吸水率小，以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石，由于吸水，足以引起微米級(jí)的變形);

8.工藝性好，易于加工，成本要低.

作為超精密測(cè)量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用，花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

光波超精密產(chǎn)品齊全-閉式圓柱三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌由光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）提供。光波超精密（廣州）技術(shù)研究院（普通合伙）擁有很好的服務(wù)與產(chǎn)品，不斷地受到新老用戶及業(yè)內(nèi)人士的肯定和信任。我們公司是商盟認(rèn)證會(huì)員，點(diǎn)擊頁(yè)面的商盟客服圖標(biāo)，可以直接與我們客服人員對(duì)話，愿我們今后的合作愉快！